广东中图半导体申请平齐型夹具系统及晶片刻蚀方法专利提高产品品质
金融界2025年1月18日消息,国家知识产权局信息显示,广东中图半导体科技股份有限公司申请一项名为“一种平齐型夹具系统及晶片刻蚀方法”的专利,公开号CN 119314940 A,申请日期为2024年10月。
专利摘要显示,本申请涉及一种平齐型夹具系统及晶片刻蚀方法,其中平齐型夹具系统包括托盘本体、全绝缘的盖板和定位环,所述托盘本体的顶端面为一个齐平顶平面,所述齐平顶平面上具有多个晶片安放区,围绕所述晶片安放区的区域为盖板放置区;所述盖板上设有与所述晶片安放区相同数量的开孔,所述盖板设于所述盖板放置区上,能够将晶片固定在所述晶片安放区并从所述开孔露出;所述定位环为绝缘材质,所述定位环连接于所述托盘本体和所述盖板之间,并且能够同时包饶晶片边缘处的底端面和侧端面。本申请消除因金属区域设计造成的电场偏转而引起的边缘图形畸变,提高了产品品质。
天眼查资料显示,广东中图半导体科技股份有限公司,成立于2013年,位于东莞市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本41227.6026万人民币,实缴资本41227.6万人民币。通过天眼查大数据分析,广东中图半导体科技股份有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目23次,知识产权方面有商标信息8条,专利信息122条,此外企业还拥有行政许可92个。
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